多分野融合型精密ナノ加工による付加価値の創造

より高い付加価値を持った製品の製造を実現するため、閻研究室ではマイクロ・ナノ領域での材料除去、変形および物性制御に基づく高精度、高効率、省エネ、省資源の加工技術の提案ならびにその原理の解明を進めています。